氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC（MFM））是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設備。S49 33/MT 質(zhì)量流量計系列（質(zhì)量流量控制器）特點：*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四氟乙烯等；*適用于各種腐蝕性氣體；*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準。
S49 33/MT 質(zhì)量流量計系列特點：
*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON、聚四氟乙烯等
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準
*高精度
*重復性好
*響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠
*低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）
*操作使用方便，可任意位置安裝
*便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制
S49 33/MT 質(zhì)量流量計主要應用領域：
*半導體制造行業(yè)的氣體流量控制
*分析儀器設備的氣體計量與控制
*各種形式的真空鍍膜設備
*環(huán)境檢測與分析設備
*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制
*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等
本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術條件及命名方法。質(zhì)量流量計主要精確測量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。
主要技術指標
質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標準狀態(tài)mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)L/min （升/分鐘） (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃
氣壓—101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
表1 技術指標
編號 | 項目 | S49 33/MT | ||
1 | 流量規(guī)格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 | ||
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止位置 | 常閉 | ||
4 | 準確度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
6 | 重復精度 | ±0.2 %F.S | ||
7 | 響應時間 | ≤8 s（T95） | ||
8 | 工作壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
9 | 耐壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
11 | 材料 | 不銹鋼316L | ||
12 | 標準密封材料 | Viton?﹑EPDM, 或其他 | ||
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
15 | 輸入輸出信號 | 0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | ||
16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
18 | 重量 kg | 1.2 | ||
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