高純氬分析色譜原理和應(yīng)用領(lǐng)域
更新時間:2024-10-25 點擊次數(shù):33次
高純氬分析色譜是一種用于檢測和分析高純度氬氣中微量雜質(zhì)的技術(shù)。以下是對其原理的具體介紹:
一、基本原理
1、流動相輸送:輸液泵將流動相以穩(wěn)定的流速或壓力輸送到分析系統(tǒng)中。
2、樣品引入:在進(jìn)入色譜柱之前,樣品通過注射器被引入系統(tǒng)。
3、組分分離:流動相將樣品帶入色譜柱,在柱內(nèi)各成分被分離。
4、信號檢測:分離后的成分與流動相依次流向檢測器,檢測到的信號被發(fā)送給數(shù)據(jù)系統(tǒng)進(jìn)行記錄、處理或保存。
二、技術(shù)特點
1、高靈敏度:采用高頻氬放電檢測器,能夠檢測到極低濃度的雜質(zhì)。
2、寬線性范圍:檢測器的線性范圍寬廣,適用于不同濃度級別的分析。
3、溫度控制:柱箱溫度范圍廣泛,程序升溫精度高,適應(yīng)多種分析條件。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
1、氣體分析:
高純氬分析色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體和電子工業(yè)氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。
2、材料保護(hù):在半導(dǎo)體工業(yè)中,高純氬用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體,以及化學(xué)氣相沉積、濺射和退火過程中的惰性氣體。
四、操作流程
1、系統(tǒng)檢查:必要時檢查洗脫液系統(tǒng),調(diào)整減壓閥指示。
2、設(shè)備啟動:打開主機打印機等設(shè)備的電源開關(guān),進(jìn)入操作界面和系統(tǒng)操作面板。
3、樣品處理:樣品通過注射器進(jìn)入色譜柱,流動相將樣品帶入色譜柱進(jìn)行分離。
4、數(shù)據(jù)處理:探測器檢測到的信號被發(fā)送到數(shù)據(jù)系統(tǒng),完成樣品后選擇檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
五、性能特點
1、顯示監(jiān)控:配備觸摸屏液晶中文顯示,實時顯示各通道溫度和運行情況。
2、安全報警:任何傳感器開路,儀器自動顯示并報警,確保使用安全。
3、氣路穩(wěn)定:高精度雙穩(wěn)定氣路,可同時安裝四個檢測器,提高分析效率。
總的來說,高純氬分析色譜儀以其高靈敏度、寬線性范圍和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,成為分析和檢測高純氬中微量雜質(zhì)的重要工具。通過合理的操作和維護(hù),可以有效提高分析的準(zhǔn)確性和效率,滿足不同行業(yè)的需求。